EPMAによる調査【マッピング分析】

　電子顕微鏡の一種である電子線マイクロアナライザ（Electron Probe Micro Analyer）を用いてコンクリート表面の調査を行う方法である。EPMAの最大の特徴は「面」の分析を行うことができる点である。また、一般的な電子顕微鏡と同様の使い方も可能である。

　「面」を観察する「マッピング分析」で力を発揮する。コンクリートの塩素の分布を観察し塩害の進行深さを観察したり、炭素の分布を観察して中性化深さを判断することができる。分析可能面積は100mm×100mm程度である。マッピング分析を行う際は、分析前に試料の表面を研磨・洗浄する必要がある。その際、コンクリートに付着した調査対象物（塩素等）を洗い流さないように注意する。